Hier haben Sie die Möglichkeit unsere ZLM – Hardware Handbücher als PDF-Datei zu laden. Um Dateien im PDF-Format zu betrachten, ist ein installierter PDF-Viewer auf Ihrem Rechner Voraussetzung! Windows® 8.1/10 Betriebssysteme haben standardmäßig einen PDF-Viewer installiert. Für Benutzer, die keinen PDF-Viewer installiert haben, empfehlen wir den ADOBE® Acrobat Reader©. Diesen können Sie unter diesem Link downloaden und installieren.
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| DATEI / PART | GRÖSSE | DEUTSCH | ENGLISH | |
|---|---|---|---|---|
| Komplettes ZLM - Hardware Handbuch | 3,90 MiB |  |  | |
| Einzelne Teile des ZLM - Hardware Handbuches | ||||
| Part 1 - Inhaltsverzeichnis und Gerätebeschreibung | 0,46 MiB | | | |
| Part 2+3 Inbetriebnahme und Gesamtaufbau | 0,16 MiB | | ||
| Part 4 A - Tripelspiegel-Interferometer - POSITION | 0,30 MiB | | | |
| Part 4 B - Planspiegel-Interferometer - POSITION | 0,28 MiB | | | |
| Part 4 C - Tripelspiegel-Interferometer - WINKEL | 0,48 MiB | | | |
| Part 4 D - Planspiegel-Interferometer - WINKEL | 0,19 MiB | | | |
| Part 4 E - Geradheits-Messung | 0,35 MiB | | | |
| Part 4 F - Rechtwinkligkeits-Messung | 0,36 MiB | | | |
| Part 4 G - Ebenheitsmessung | 0,32 MiB | | | |
| Part 4 H - Fokus Antastung Vibration | 0,30 MiB | | | |
| Part 4 I - Mehrachs-Anordnung ZLM 800 | 0,76 MiB | | | |
| Part 4 - J - Umweltkompensation AUK | 0,15 MiB | | | |
| Part 5 - Technische Daten | 0,07 MiB | | | |
| Part 6 - Fehler-Ursachen | 0,05 MiB | | | |
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