Das leistungsfähigste Interferometer seiner Art weltweit
- heterodynes 3-Achs-Interferometer für Positionsmessung, Nick- und Gierwinkelmessung, Triangulation
- hochflexibler Kalibriereinsatz für alle CNC-Kalibrierparameter
- max. Verfahrgeschwindigkeit 4m/s
- Echtzeitmessungen Aufrüstbar bis 6 Achsen
- Standardauflösung 1nm (Position), 0,01’’ (Winkel)
- Genauigkeit <50nm/m durch hochgenaue Temperatursensoren
- für Notebook, PCI-Bus kompatibel
- netzwerkfähig
- dynamische Messungen bis 4m/s
- schnelles Einrichten, – auch im Raum
- Echtzeitmessungen aller 3 Achsen
- Schnelles Einrichten, – auch im Raum
- Leichte Reflektoren mit Magnetklemmung
- bis 40 MHz extern triggerbar
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Das Zweifrequenz-Laserwegmesssysteme ZLM 900 ist ein optisches Längenmessgerät, welches die Messung von Längen bis zu 20m mit einer Wegauflösung von 2,5nm (optional 1,25nm bzw. 0,63nm) und eine maximale Messgeschwindigkeit von bis zu 4m/s (optional bis zu 12m/s) ermöglicht. Darüber hinaus können auch die aus der Länge abgeleiteten geometrischen und kinematischen Messgrößen wie Geschwindigkeit und Beschleunigung, Winkel und Ebenheit ermittelt werden.
ZLM 900 unterscheidet sich von ZLM 700 / 800 dadurch, dass Laserrohr und Auswerteeinheit zu einer Einheit zusammengefasst sind. Das Laserlicht wird mit Lichtwellenleiter zu dem Interferometer gebracht. Damit entfällt die Strahljustierung zwischen Lasermesskopf und Interferometer.
Das ZLM 900 dient vorwiegend als Kalibriersystem in der Werkzeugmaschinenindustrie, der Koordinatenmesstechnik und als Laborgerät für verschiedene Messaufgaben. Der Aufbau als Baukastensystem erlaubt es dem Anwender, eine seiner Messaufgabe angepasste Konfigurierung durch eine entsprechende Zusammenstellung von Systemkomponenten vorzunehmen.
Eine reiche Auswahl unterschiedlicher Interferometer, Reflektoren und dazugehörige Montage- und Justiereinheiten stehen dem Anwender zur Auswahl. Als Mehrachssystem findet das ZLM 900 Anwendung in schnellen Präzisionspositioniersystemen. Als dynamisches System höchster Auflösung dient es zur Ermittlung der Lageabweichung der Messobjekte. Die Messgenauigkeit des ZLM 900 hängt von der Erfassung der Umgebungsbedingungen (Lufttemperatur, Luftdruck, Luftfeuchte sowie Materialtemperatur) ab. Diese Parameter werden benötigt, um die Luftbrechzahl bzw. die Materialausdehnung zu bestimmen.
bzw. die Materialausdehnung zu bestimmen.
| Leistungsparameter ZLM 700 / ZLM 800 / ZLM 900 mit Auswerteeinheit AE (Standard) | |
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| Mittlere Wellenlänge He-Ne-Laser in Vakuum | 632,8 nm |
| Stabilität der Wellenlänge | 2*10-9 für 1 Stunde / 2*10-8 für Lebensdauer |
| Strahldurchmesser | 6 mm (optional 3,2 mm) |
| Maximale Leistung des austretenden Strahles | 1 mW (Laserklasse 2) |
| Zahl der Messachsen pro Laser | 1, optional bis 6 |
| Messbereich Distanzmessung | bis 40 m, optional bis 120 m |
| Auflösung Distanz- und Positionsmessung | 2,5 nm (Tripelreflektorinterferometer) 1,25 nm (Planspiegelinterferometer) |
| Genauigkeit Distanz- und Positionsmessung (20°± 0,5°C) mit AUK (20°± 0,5°C) in Vakuum | ± 0,4 ppm (μ/m) ± 0,08 ppm (μ/m) |
| Messbereich Winkelmessung | ± 15° bis 20 m Länge |
| Auflösung Winkelmessung | 0,062 μrad (12∙10-3 arc sec) |
| Genauigkeit Winkelmessung | ± 0,1 ppm |
| Winkelmessung Genauigkeit (schrittweises Verfahren) | ± 0,05 arcsec pro Meter des Verfahrweges bei linear bewegter Optik |
| Messbereich Ebenheitsmessung | bis 20 m Länge |
| Auflösung Ebenheitsmessung | 0,062 μrad (12∙10-3 arc sec) |
| Genauigkeit Ebenheitsmessung | ± 0,2% vom Messwert ± 0,05 µrad pro Meter Verschiebeweg |
| Messbereich Geradheitsmessung | ± 5 mm auf 2m Länge bzw. 10m Länge 30m Länge (optional) mit Winkelinterferometer |
| Auflösung Geradheitsmessung | 29 nm auf 2 m 145 nm auf 10 m |
| Genauigkeit Geradheitsmessung bis 2 m bis 10 m | ± 0,5% vom Messwert ± 2,5% vom Messwert |
| Messbereich Rechtwinkeligkeitsmessung | ± 5 mm auf 2 m Länge bzw. 10 m Länge |
| Auflösung Rechtwinkligkeitsmessung bis 2 m bis 10 m | 29 nm auf 2 m 145 nm auf 10 m |
| Genauigkeit Rechtwinkligkeitsmessung bis 2 m bis 10 m | ± 0,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec *** ± 2,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec *** *** Toleranz Rechtwinkligkeitsnormal |
| Maximale Verfahrgeschwindigkeit | 4 m/s, optional 16 m/s translatorisch 320 rad/s rotatorisch |
| Genauigkeit Geschwindigkeitsmessung | ± 0,5 ppm vom Messwert |
| Maximale Beschleunigung | keine Begrenzung |
| Nichtlinearität | ± 1,25 nm (Tripelreflektorinterferometer) ± 0,62 nm (Planspiegelinterferometer) |
| Schnittstellen | Quadratursignale 32 Bit (Echtzeit) Δt ≈ 20 ns |
| Einsatzbedingungen | Temperaturbereich: 15°C … 30°C Luftfeuchte: < 90% nicht kondensierend |
| Lagerbedingungen | Temperaturbereich: 10°C … 40°C Luftfeuchte < 95% nicht kondensierend |
| Weitere Informationen entnehmen Sie bitte unseren ZLM – Produkt-Katalog | |