ZLM – Hardware Handbücher

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 DATEI / PARTGRÖSSEDEUTSCHENGLISH
Komplettes ZLM - Hardware Handbuch3,90 MiBdeen
Einzelne Teile des ZLM - Hardware Handbuches
Part 1 - Inhaltsverzeichnis und Gerätebeschreibung0,46 MiBdeen
Part 2+3 Inbetriebnahme und Gesamtaufbau0,16 MiBde
Part 4 A - Tripelspiegel-Interferometer - POSITION0,30 MiBdeen
Part 4 B - Planspiegel-Interferometer - POSITION0,28 MiBdeen
Part 4 C - Tripelspiegel-Interferometer - WINKEL0,48 MiBdeen
Part 4 D - Planspiegel-Interferometer - WINKEL0,19 MiBdeen
Part 4 E - Geradheits-Messung0,35 MiBdeen
Part 4 F - Rechtwinkligkeits-Messung0,36 MiBdeen
Part 4 G - Ebenheitsmessung0,32 MiBdeen
Part 4 H - Fokus Antastung Vibration0,30 MiBdeen
Part 4 I - Mehrachs-Anordnung ZLM 8000,76 MiBdeen
Part 4 - J - Umweltkompensation AUK0,15 MiBdeen
Part 5 - Technische Daten0,07 MiBdeen
Part 6 - Fehler-Ursachen0,05 MiBdeen