ZLM 900-LSI

Das leistungsfähigste Interferometer seiner Art weltweit

  • Heterodynes Einschlauch-Einstrahl-Interferometer
  • Hochflexibler Kalibriereinsatz
  • Dynamische Messungen bis 4m/s
  • Echtzeitmessungen Aufrüstbar bis 6 Achsen
  • Schnelles Einrichten, – auch im Raum
  • Leichte Reflektoren mit Magnetklemmung

ZLM 900-LSI Miniatur InterferometerZLM 900-LSI Aufbau MiniaturinterferometerZLM 900-LSI Aufbau Miniaturinterferometer

  • Max. Verfahrgeschwindigkeit 4m/s
  • Standardauflösung 1nm
  • Genauigkeit <50nm/m durch hochgenaue Temperatursensoren
  • Für Notebook, netzwerkfähig

 

Das Zweifrequenz-Laserwegmesssysteme ZLM 900 LSI ist ein optisches Längenmessgerät, welches die Messung von Längen bis zu 20m mit einer Wegauflösung von 2,5nm (optional 1,25nm bzw. 0,63nm) und eine maximale Messgeschwindigkeit von bis zu 4m/s (optional bis zu 12m/s) ermöglicht. Darüber hinaus können auch die aus der Länge abgeleiteten geometrischen und kinematischen Messgrößen wie Geschwindigkeit und Beschleunigung, Winkel und Ebenheit ermittelt werden.

ZLM 900 LSI unterscheidet sich von ZLM 700 / 800 dadurch, dass Laserrohr und Auswerteeinheit zu einer Einheit zusammengefasst sind. Das Laserlicht wird mit Lichtwellenleiter zu dem Interferometer gebracht. Damit entfällt die Strahljustierung zwischen Lasermesskopf und Interferometer.

Das ZLM 900 LSI dient vorwiegend als Kalibriersystem in der Werkzeugmaschinenindustrie, der Koordinatenmesstechnik und als Laborgerät für verschiedene Messaufgaben. Der Aufbau als Baukastensystem erlaubt es dem Anwender, eine seiner Messaufgabe angepasste Konfigurierung durch eine entsprechende Zusammenstellung von Systemkomponenten vorzunehmen.

Eine reiche Auswahl unterschiedlicher Interferometer, Reflektoren und dazugehörige Montage- und Justiereinheiten stehen dem Anwender zur Auswahl. Als Mehrachssystem findet das ZLM 900 LSI Anwendung in schnellen Präzisionspositioniersystemen. Als dynamisches System höchster Auflösung dient es zur Ermittlung der Lageabweichung der Messobjekte. Die Messgenauigkeit des ZLM 900 LSI hängt von der Erfassung der Umgebungsbedingungen (Lufttemperatur, Luftdruck, Luftfeuchte sowie Materialtemperatur) ab. Diese Parameter werden benötigt, um die Luftbrechzahl bzw. die Materialausdehnung zu bestimmen.

 

Leistungsparameter
ZLM 700 / ZLM 800 / ZLM 900
mit Auswerteeinheit AE (Standard)
 
Mittlere Wellenlänge He-Ne-Laser in Vakuum632,8 nm
Stabilität der Wellenlänge2*10-9 für 1 Stunde / 2*10-8 für Lebensdauer
Strahldurchmesser6 mm (optional 3,2 mm)
Maximale Leistung des austretenden Strahles1 mW (Laserklasse 2)
Zahl der Messachsen pro Laser1, optional bis 6
Messbereich Distanzmessungbis 40 m, optional bis 120 m
Auflösung Distanz- und Positionsmessung2,5 nm (Tripelreflektorinterferometer)
1,25 nm (Planspiegelinterferometer)
Genauigkeit Distanz- und Positionsmessung
(20°± 0,5°C) mit AUK
(20°± 0,5°C) in Vakuum

± 0,4 ppm (μ/m)
± 0,08 ppm (μ/m)
Messbereich Winkelmessung± 15° bis 20 m Länge
Auflösung Winkelmessung0,062 μrad (12∙10-3 arc sec)
Genauigkeit Winkelmessung± 0,1 ppm
Winkelmessung Genauigkeit
(schrittweises Verfahren)
± 0,05 arcsec pro Meter des Verfahrweges
bei linear bewegter Optik
Messbereich Ebenheitsmessungbis 20 m Länge
Auflösung Ebenheitsmessung0,062 μrad (12∙10-3 arc sec)
Genauigkeit Ebenheitsmessung± 0,2% vom Messwert
± 0,05 µrad pro Meter Verschiebeweg
Messbereich Geradheitsmessung± 5 mm auf 2m Länge bzw. 10m Länge
30m Länge (optional) mit Winkelinterferometer
Auflösung Geradheitsmessung29 nm auf 2 m
145 nm auf 10 m
Genauigkeit Geradheitsmessung
bis 2 m
bis 10 m

± 0,5% vom Messwert
± 2,5% vom Messwert
Messbereich Rechtwinkeligkeitsmessung ± 5 mm auf 2 m Länge bzw. 10 m Länge
Auflösung Rechtwinkligkeitsmessung
bis 2 m
bis 10 m

29 nm auf 2 m
145 nm auf 10 m
Genauigkeit Rechtwinkligkeitsmessung
bis 2 m
bis 10 m

± 0,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec ***
± 2,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec ***
*** Toleranz Rechtwinkligkeitsnormal

Maximale Verfahrgeschwindigkeit4 m/s, optional 16 m/s translatorisch
320 rad/s rotatorisch
Genauigkeit Geschwindigkeitsmessung± 0,5 ppm vom Messwert
Maximale Beschleunigungkeine Begrenzung
Nichtlinearität± 1,25 nm (Tripelreflektorinterferometer)
± 0,62 nm (Planspiegelinterferometer)
SchnittstellenQuadratursignale
32 Bit (Echtzeit)
Δt ≈ 20 ns
EinsatzbedingungenTemperaturbereich: 15°C … 30°C
Luftfeuchte: < 90% nicht kondensierend
LagerbedingungenTemperaturbereich: 10°C ... 40°C
Luftfeuchte < 95% nicht kondensierend
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte unseren ZLM - Produkt-Katalog