ZLM 800 Multi-Achs

ZLM 80 Aufbau Laserinterferometer (Schema)Der Lasermesskopf des ZLM 800 bietet soviel Leistung, dass mehrere Interferometer betrieben werden können. Der Laserstrahl kann dann durch 50%, 33% oder 25% Intensitätsstrahlenteiler auf bis zu 6 voneinander unabhängige Messsysteme aufgeteilt werden. Durch die Auswerteeinheit AE 800 werden die Signale separat für jeden Kanal über spezielle Software verarbeitet. (ZLM Handbuch Software ZLM D-F1 bis F4) Die Abbildung 1 gibt einen möglichen Aufbau eines Zweiachssystems mit Planspiegelinterferometern wieder. Bei diesem Aufbau sind zwei lange Planspiegel im Winkel von 90°auf einem X-Y-Kreuztisch angeordnet. Die ausgegebenen Koordinaten gelten unter strenger Beachtung des Abbé-schen-Prinzips für den Kreuzungspunkt der beiden Lasermesslinien. In diesem Kreuzungspunkt können z.B. die Achse eines Mikroskops senkrecht zur Messebene oder ein 3D – Taster angeordnet sein. Dadurch wird ein Höchstmaß an Genauigkeit auch bei evtl. Kippbewegungen des Kreuztisches erreicht.

 

ZLM 800 - Mehrachs - Laserinterferometer mit AUK UmweltkompensationAUK 500 ZLM Umweltkompensation für Brechzahlberechnung und MaterialausdehnungZLM 800 - Zeiss Optiken

Leistungsparameter
ZLM 700 / ZLM 800 / ZLM 900
mit Auswerteeinheit AE (Standard)
 
Mittlere Wellenlänge He-Ne-Laser in Vakuum632,8 nm
Stabilität der Wellenlänge2*10-9 für 1 Stunde / 2*10-8 für Lebensdauer
Strahldurchmesser6 mm (optional 3,2 mm)
Maximale Leistung des austretenden Strahles1 mW (Laserklasse 2)
Zahl der Messachsen pro Laser1, optional bis 6
Messbereich Distanzmessungbis 40 m, optional bis 120 m
Auflösung Distanz- und Positionsmessung2,5 nm (Tripelreflektorinterferometer)
1,25 nm (Planspiegelinterferometer)
Genauigkeit Distanz- und Positionsmessung
(20°± 0,5°C) mit AUK
(20°± 0,5°C) in Vakuum

± 0,4 ppm (μ/m)
± 0,08 ppm (μ/m)
Messbereich Winkelmessung± 15° bis 20 m Länge
Auflösung Winkelmessung0,062 μrad (12∙10-3 arc sec)
Genauigkeit Winkelmessung± 0,1 ppm
Winkelmessung Genauigkeit
(schrittweises Verfahren)
± 0,05 arcsec pro Meter des Verfahrweges
bei linear bewegter Optik
Messbereich Ebenheitsmessungbis 20 m Länge
Auflösung Ebenheitsmessung0,062 μrad (12∙10-3 arc sec)
Genauigkeit Ebenheitsmessung± 0,2% vom Messwert
± 0,05 µrad pro Meter Verschiebeweg
Messbereich Geradheitsmessung± 5 mm auf 2m Länge bzw. 10m Länge
30m Länge (optional) mit Winkelinterferometer
Auflösung Geradheitsmessung29 nm auf 2 m
145 nm auf 10 m
Genauigkeit Geradheitsmessung
bis 2 m
bis 10 m

± 0,5% vom Messwert
± 2,5% vom Messwert
Messbereich Rechtwinkeligkeitsmessung ± 5 mm auf 2 m Länge bzw. 10 m Länge
Auflösung Rechtwinkligkeitsmessung
bis 2 m
bis 10 m

29 nm auf 2 m
145 nm auf 10 m
Genauigkeit Rechtwinkligkeitsmessung
bis 2 m
bis 10 m

± 0,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec ***
± 2,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec ***
*** Toleranz Rechtwinkligkeitsnormal

Maximale Verfahrgeschwindigkeit4 m/s, optional 16 m/s translatorisch
320 rad/s rotatorisch
Genauigkeit Geschwindigkeitsmessung± 0,5 ppm vom Messwert
Maximale Beschleunigungkeine Begrenzung
Nichtlinearität± 1,25 nm (Tripelreflektorinterferometer)
± 0,62 nm (Planspiegelinterferometer)
SchnittstellenQuadratursignale
32 Bit (Echtzeit)
Δt ≈ 20 ns
EinsatzbedingungenTemperaturbereich: 15°C … 30°C
Luftfeuchte: < 90% nicht kondensierend
LagerbedingungenTemperaturbereich: 10°C ... 40°C
Luftfeuchte < 95% nicht kondensierend
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte unseren ZLM - Produkt-Katalog